紫外(wài)線光刻機的這(zhè)些(xiē)功能(néng)不可忽視(shì)
更新時(shí)間：2022-10-10 點擊次數：1320
紫外(wài)線光刻機是印制闆制造工(gōng)藝中的重要設備。傳統光刻機的玻璃-邁拉曬架在生産過程中需要人工(gōng)趕氣,邁拉膜需要經常更換。由于冷卻系統過于臃腫,使得其生産成本高(gāo)、效率低(dī),已不能(néng)滿足PC B 生産的需要。在實驗基礎上(shàng)設計(jì)了(le)雙玻璃曬架光刻機，改進了(le)其主要組成部分,包括曬架系統、光路系統、冷卻系統以及電氣和(hé)控制系統的整體設計(jì)。
在計(jì)算(suàn)機的控制下(xià)，利用(yòng)聚焦電子束對(duì)有機聚合物（通常稱爲電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，受電子束輻照後的光刻膠，其物理(lǐ)化學性質發生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從(cóng)而在抗蝕劑上(shàng)形成精細圖形。
紫外(wài)線光刻機可廣泛用(yòng)于MEMS和(hé)光電子，例如LED生産。它經過**設計(jì)，方便處理(lǐ)各種非标準基片、例如混合、高(gāo)頻元件和(hé)易碎的III-V族材料，包括砷化镓和(hé)磷化铟。而且該設備可通過選配升級套件，實現(xiàn)紫外(wài)納米壓印光刻。它具有以下(xià)亮(liàng)點：高(gāo)分辨率掩模對(duì)準光刻，特征尺寸優于0.5微米、裝配SUSS的單視(shì)場顯微鏡或分視(shì)場顯微鏡，實現(xiàn)快(kuài)速準确對(duì)準、針對(duì)厚膠工(gōng)藝進行優化的高(gāo)分辨光學系統、可選配通用(yòng)光學器件，在不同波長間進行快(kuài)速切換等。
采用(yòng)三柔性支點實現(xiàn)高(gāo)精度自(zì)動調平；真空(kōng)接觸自(zì)動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現(xiàn)自(zì)動化控制；采用(yòng)積木(mù)錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高(gāo)均勻照明(míng)；可連續設定分離間隙；采用(yòng)雙目雙視(shì)場顯微鏡實現(xiàn)高(gāo)對(duì)準精度。整機具有性能(néng)可靠、操作(zuò)方便、自(zì)動化程度高(gāo)等特點。
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