等離子清洗機也(yě)叫等離子清潔機，或者等離子表面處理(lǐ)儀，利用(yòng)等離子體來(lái)達到(dào)常規清洗方法不能(néng)達到(dào)的效果。等離子體是物質的一種狀态，也(yě)叫做物質的第四态，并不屬于常見的固液氣三态。對(duì)氣體施加足夠的能(néng)量使之離化便成爲等離子狀态。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離子清潔機就是通過利用(yòng)這(zhè)些(xiē)活性組分的性質來(lái)處理(lǐ)樣品表面，從(cóng)而實現(xiàn)清潔、塗覆等目的。
1.等離子清洗機真空(kōng)泵熱過載保護，請(qǐng)檢查線路和(hé)真空(kōng)泵故障
①如系統參數無變化，請(qǐng)确認熱繼電器是否自(zì)動保護，按複位鍵，然後啓動真空(kōng)發生系統。如沒有自(zì)動保護，請(qǐng)檢查電氣線路有無斷路或短路情況。
②出現(xiàn)此情況請(qǐng)先觀察系統參數設置有無變化，突然斷電會(huì)引起系統參數歸零，導緻設備出現(xiàn)此類報(bào)警。
③檢查導線是否有斷路或短路情況。
④如無上(shàng)述異常，請(qǐng)檢查真空(kōng)泵。
2.等離子清洗機三相供電相序異常，請(qǐng)更換相序
①有相序保護繼電器，如出現(xiàn)此類報(bào)警，請(qǐng)更換相序。
3.一路供氣壓力過低(dī)，請(qǐng)檢查氣體是否開(kāi)啓或氣體是否耗盡
4.二路供氣壓力過低(dī)，請(qǐng)檢查氣體是否開(kāi)啓或氣體是否耗盡
3及4是氣路控制系統報(bào)警，出現(xiàn)此報(bào)警請(qǐng)先檢查氣體是否打開(kāi)或耗盡。如氣體沒有問題，請(qǐng)檢查設備減壓表、氣路電磁閥及流量計(jì)是否正常工(gōng)作(zuò)。檢查電氣線路是否出現(xiàn)斷路或短路。
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