等離子清洗機(plasma cleaner)也(yě)叫等離子清潔機，或者等離子表面處理(lǐ)儀，是一種新的*科技技術，利用(yòng)等離子體來(lái)達到(dào)常規清洗方法無法達到(dào)的效果。等離子體是物質的一種狀态，也(yě)叫做物質的第四态，并不屬于常見的固液氣三态。對(duì)氣體施加足夠的能(néng)量使之離化便成爲等離子狀态。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離子清潔機就是通過利用(yòng)這(zhè)些(xiē)活性組分的性質來(lái)處理(lǐ)樣品表面，從(cóng)而實現(xiàn)清潔、塗覆等目的。
等離子清洗機的優點介紹：
一、清洗對(duì)象經等離子清洗之後是幹燥的，不需要再經幹燥處理(lǐ)即可送往下(xià)一道(dào)工(gōng)序。可以提高(gāo)整個工(gōng)藝流水(shuǐ)線的處理(lǐ)效率；
二、等離子清洗使得用(yòng)戶可以遠離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也(yě)避免了(le)濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題；
三、避免使用(yòng)三氯乙烷等ODS有害溶劑，這(zhè)樣清洗後不會(huì)産生有害污染物，因此這(zhè)種清洗方法屬于環保的綠色清洗方法。這(zhè)在全球高(gāo)度關注環保的情況下(xià)越發顯出它的重要性；
四、采用(yòng)無線電波範圍的高(gāo)頻産生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這(zhè)使得它可以深入到(dào)物體的微細孔眼和(hé)凹陷的内部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這(zhè)些(xiē)難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好(hǎo)；
五、使用(yòng)等離子清洗，可以使得清洗效率獲得大(dà)的提高(gāo)。整個清洗工(gōng)藝流程幾分鐘(zhōng)内即可完成，因此具有産率高(gāo)的特點；
六、等離子清洗需要控制的真空(kōng)度約爲100Pa，這(zhè)種清洗條件很(hěn)容易達到(dào)。因此這(zhè)種裝置的設備成本不高(gāo)，加上(shàng)清洗過程不需要使用(yòng)價格較爲昂貴的有機溶劑，這(zhè)使得整體成本要低(dī)于傳統的濕法清洗工(gōng)藝；
七、使用(yòng)等離子清洗，避免了(le)對(duì)清洗液的運輸、存儲、排放(fàng)等處理(lǐ)措施，所以生産場地很(hěn)容易保持清潔衛生；
八、在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能(néng)。如提高(gāo)表面的潤濕性能(néng)、改善膜的黏着力等，這(zhè)在許多應用(yòng)中都是非常重要的；
九、等離子體清洗可以不分處理(lǐ)對(duì)象，它可以處理(lǐ)各種各樣的材質，無論是金(jīn)屬、半導體、氧化物，還是高(gāo)分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高(gāo)聚物）都可以使用(yòng)等離子體來(lái)處理(lǐ)。因此特别适合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或複雜(zá)結構進行部分清洗。
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