等離子清洗機(plasma cleaner)也(yě)叫等離子表面處理(lǐ)儀，是一種新的技術，利用(yòng)等離子體來(lái)達到(dào)常規清洗方法無法達到(dào)的效果。等離子體是物質的一種狀态，也(yě)叫做物質的第四态。對(duì)氣體施加足夠的能(néng)量使之離化便成爲等離子狀态。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離子清洗機就是通過利用(yòng)這(zhè)些(xiē)活性組分的性質來(lái)處理(lǐ)樣品表面，從(cóng)而實現(xiàn)清潔等目的。
等離子清洗機中的等離子體是物質的一種存在狀态，通常物質以固态、液态、氣态三種狀态存在，但(dàn)在一些(xiē)特殊的情況下(xià)有第四種狀态存在，如地球大(dà)氣中電離層中的物質。等離子體狀态中存在下(xià)列物質：處于高(gāo)速運動狀态的電子；處于激活狀态的中性原子、分子、原子團（自(zì)由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但(dàn)物質在總體上(shàng)仍保持電中性狀态。
等離子清洗機的清洗原理(lǐ)是在真空(kōng)腔體裏，通過射頻電源在一定的壓力情況下(xià)起輝産生高(gāo)能(néng)量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗産品表面，以達到(dào)清洗目的。
等離子清洗機清洗原理(lǐ)：
1.激活鍵能(néng)，交聯作(zuò)用(yòng)
等離子體中的粒子能(néng)量在0~20eV，而聚合物中大(dà)部分的鍵能(néng)在0~10eV，因此等離子體作(zuò)用(yòng)到(dào)固體表面後，可以将固體表面的原有的化學鍵産生斷裂，等離子體中的自(zì)由基與這(zhè)些(xiē)鍵形成網狀的交聯結構，大(dà)大(dà)地激活了(le)表面活性。
2.對(duì)材料表面的刻蝕作(zuò)用(yòng)--物理(lǐ)作(zuò)用(yòng)
等離子清洗機中的大(dà)量離子、激發态分子、自(zì)由基等多種活性粒子，作(zuò)用(yòng)到(dào)固體樣品表面，不但(dàn)清除了(le)表面原有的污染物和(hé)雜(zá)質，而且會(huì)産生刻蝕作(zuò)用(yòng)，将樣品表面變粗糙，形成許多微細坑窪，增大(dà)了(le)樣品的比表面。提高(gāo)固體表面的潤濕性能(néng)。
3.形成新的官能(néng)團--化學作(zuò)用(yòng)
如果放(fàng)電氣體中引入反應性氣體，那麽在活化的材料表面會(huì)發生複雜(zá)的化學反應，引入新的官能(néng)團，如烴基、氨基、羧基等，這(zhè)些(xiē)官能(néng)團都是活性基團，能(néng)明(míng)顯提高(gāo)材料表面活性。
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