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微納結構三維形貌測量儀

簡要描述:微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白(bái)光幹涉掃描原理(lǐ),以光波長作(zuò)爲測量基準,利用(yòng)納米級高(gāo)精度掃描系統結合具有自(zì)主知(zhī)識産權的高(gāo)精度解析算(suàn)法,實現(xiàn)連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外(wài)觀參數測量結果。

  • 産品型号:
  • 廠(chǎng)商性質:生産廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-06-04
  • 訪  問  量:1742

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詳細介紹

品牌FLOWX産地類别國産
應用(yòng)領域環保,電子

 

系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白(bái)光幹涉掃描原理(lǐ),以光波長作(zuò)爲測量基準,利用(yòng)納米級高(gāo)精度掃描系統結合具有自(zì)主知(zhī)識産權的高(gāo)精度解析算(suàn)法,實現(xiàn)連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外(wài)觀參數測量結果。

微納結構三維形貌測量儀本産品具有以下(xià)特點:
高(gāo)的測量精度:基于幹涉測量原理(lǐ),測量重複性達到(dào)1nm。
大(dà)的測量範圍:采用(yòng)*掃描系統,在保證納米定位精度的同時(shí),單場掃描範圍可達到(dào)10mm,結合白(bái)光光源重構方法,可滿足曲面元件等大(dà)範圍物體測量需求。
全自(zì)動測量:标配自(zì)動檢焦功能(néng),結合自(zì)動調焦裝置,無需複雜(zá)調節過程,一鍵操作(zuò)即可完成調焦、檢測全過程。選配自(zì)動二維平台,可自(zì)動完成大(dà)面積三維數據拼接操作(zuò)
高(gāo)集成度、安裝簡便:整機集成爲統一整體,僅需外(wài)接220v電源,通過USB3.0 數據傳輸,即可完成數據傳輸與測量
具有高(gāo)的性價比:保證系統性能(néng)的同時(shí),降低(dī)制造成本
靈活性高(gāo):可根據用(yòng)戶需求,對(duì)系統進行改進,滿足工(gōng)業不同應用(yòng)場景需求。

微納結構三維形貌測量儀技術參數:

型号

3DNM-W50

光源

LED

CCD分辨率

2040×1080

調焦方式

自(zì)動

縱向掃描範圍

4mm

縱向掃描速度

15μm/s

傾斜調整範圍

縱向分辨率

VSI:0.5nm,PSI:0.1nm

橫向分辨率

650nm(20倍物鏡)

台階測量重複性

1nm

XY樣品台行程

100mm×100mm(手動)

Z軸行程

50mm(自(zì)動)

重量

50Kg

外(wài)形尺寸

550mm×380mm×680mm

數據傳輸接口

USB 3.0

 

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