微納結構三維形貌測量儀

系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白(bái)光幹涉掃描原理(lǐ)，以光波長作(zuò)爲測量基準，利用(yòng)納米級高(gāo)精度掃描系統結合具有自(zì)主知(zhī)識産權的高(gāo)精度解析算(suàn)法，實現(xiàn)連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外(wài)觀參數測量結果。

微納結構三維形貌測量儀本産品具有以下(xià)特點：
高(gāo)的測量精度：基于幹涉測量原理(lǐ)，測量重複性達到(dào)1nm。
大(dà)的測量範圍：采用(yòng)*掃描系統，在保證納米定位精度的同時(shí)，單場掃描範圍可達到(dào)10mm，結合白(bái)光光源重構方法，可滿足曲面元件等大(dà)範圍物體測量需求。
全自(zì)動測量：标配自(zì)動檢焦功能(néng)，結合自(zì)動調焦裝置，無需複雜(zá)調節過程，一鍵操作(zuò)即可完成調焦、檢測全過程。選配自(zì)動二維平台，可自(zì)動完成大(dà)面積三維數據拼接操作(zuò)
高(gāo)集成度、安裝簡便：整機集成爲統一整體，僅需外(wài)接220v電源，通過USB3.0 數據傳輸，即可完成數據傳輸與測量
具有高(gāo)的性價比：保證系統性能(néng)的同時(shí)，降低(dī)制造成本
靈活性高(gāo)：可根據用(yòng)戶需求，對(duì)系統進行改進，滿足工(gōng)業不同應用(yòng)場景需求。