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  • URE-2000/35型紫外(wài)光刻機
    URE-2000/35型紫外(wài)光刻機

    更新時(shí)間:2024-06-04

    型号:

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    URE-2000/35型紫外(wài)光刻機,采用(yòng)三柔性支點實現(xiàn)高(gāo)精度自(zì)動調平;真空(kōng)接觸自(zì)動曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現(xiàn)自(zì)動化控制。
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  • TYG-2000/T2步進投影光刻機
    TYG-2000/T2步進投影光刻機

    更新時(shí)間:2024-06-04

    型号:

    浏覽量:1500

    TYG-2000/T2步進投影光刻機,照明(míng)系統:冷光橢球鏡; 350W進口直流高(gāo)壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節台; 光學系統:固定光欄、可變光欄、快(kuài)門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇
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  • DS-2000/14G型光刻機
    DS-2000/14G型光刻機

    更新時(shí)間:2024-06-04

    型号:

    浏覽量:1619

    DS-2000/14G型光刻機該機可采用(yòng)紫外(wài)光、深紫外(wài)光、甚至更短波長的極紫外(wài)光作(zuò)爲光源,用(yòng)DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模闆,采用(yòng)積木(mù) 錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高(gāo)均勻照明(míng)。
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