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DS-2000/14G型光刻機

簡要描述：DS-2000/14G型光刻機該機可采用(yòng)紫外(wài)光、深紫外(wài)光、甚至更短波長的極紫外(wài)光作(zuò)爲光源，用(yòng)DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模闆，采用(yòng)積木(mù) 錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高(gāo)均勻照明(míng)。

産品型号：
廠(chǎng)商性質：生産廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2024-06-04
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芯片加工(gōng)設備

激光切割機熱壓鍵合機等離子清洗機光刻機

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品牌	其他(tā)品牌	價格區(qū)間	面議(yì)
儀器種類	微流控芯片系統	應用(yòng)領域	醫(yī)療衛生,環保,電子

産品名稱：DS-2000/14G型光刻機

主要技術指标：

單次曝光面積：1.4mm×1mm;

大(dà)曝光基片：100mm ×100mm ;

對(duì)準精度：±0.8μm（半自(zì)動對(duì)準）;

大(dà)膠厚：300μm（SU8膠）;

自(zì)動逐場對(duì)焦；

分辨力：1μm；

X、Y、Z、θ四自(zì)由度電動位移台 ;

X、Y平移重複定位精度：0.65μm（3σ）;

Z向運動精度：1μm。

DS-2000/14G型光刻機技術特點：

該機可采用(yòng)紫外(wài)光、深紫外(wài)光、甚至更短波長的極紫外(wài)光作(zuò)爲光源，用(yòng)DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模闆，采用(yòng)積木(mù) 錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高(gāo)均勻照明(míng)，并配備了(le)雙目雙視(shì)顯微鏡和(hé)CCD圖象對(duì)準系統（可同時(shí)使用(yòng)），拼接獲得大(dà)面積圖形，曝光設定采用(yòng)微機控制，菜單界面友好(hǎo)，操作(zuò)簡便。

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