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TYG-2000/T2步進投影光刻機

簡要描述:TYG-2000/T2步進投影光刻機,照明(míng)系統:冷光橢球鏡; 350W進口直流高(gāo)壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節台; 光學系統:固定光欄、可變光欄、快(kuài)門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇

  • 産品型号:
  • 廠(chǎng)商性質:生産廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-06-04
  • 訪  問  量:1500

詳細介紹

品牌其他(tā)品牌價格區(qū)間面議(yì)
儀器種類微流控芯片系統應用(yòng)領域醫(yī)療衛生,環保,電子
産品名稱:TYG-2000/T2步進投影光刻機
主要技術指标:
   曝光場面積:20mm×20mm
   分辨力:2μm;
   照明(míng)不均勻性:±2%
   物鏡倍率:2.5倍(縮小(xiǎo))
   光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線)
   基片尺寸:4 英寸
   工(gōng)件台運動範圍:X:>150mm、 Y:>150mm;
   工(gōng)件台運動定位精度:±0.65μm
   調焦台運動靈敏度:1μm
   對(duì)準精度:±0.5μm
   調焦台運動行程:5mm
   檢焦:CCD檢測,檢測精度0.5微米
   轉動台行程:±4°以上(shàng)
   基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可适應非标準片或碎片),厚度:0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步進投影光刻機主要技術配置:
(1)照明(míng)系統:冷光橢球鏡;   350W進口直流高(gāo)壓汞燈(德國歐司朗);   XYZ汞燈調節台;   光學系統:固定光欄、可變光欄、快(kuài)門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風(fēng)扇
(2)工(gōng)件台系統:X台:電機驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光栅(美(měi)國)   Y台:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光栅2(美(měi)國)   轉動台:電機及驅動器(日本樂孜),轉動軸系 調平台:電機及驅動器(3套)、調平機構   Z台:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠、上(shàng)升導向機構; 承片台:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
(3)檢焦系統:焦面光學檢測系統、CCD、焦面檢測軟件
(4)對(duì)準系統:對(duì)準光學檢測系統(2套)、CCD(2套)、對(duì)準軟件
(5)電控系統:汞燈電源及觸發器、主機控制系統、軟件、計(jì)算(suàn)機、顯示器、接口
(6)其他(tā)部件:底座 減震器(4個);控制櫃桌;氣動系統;電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空(kōng)表
(7)其他(tā)附件:真空(kōng)泵一台(無油泵);空(kōng)壓機一台(靜音(yīn)泵);管道(dào)

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